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アライメントシステム

アライメントシステム

位置決めマークを複数台のカメラで撮像し、XYθの位置補正を高精度に実現する位置決めシステムのご紹介。


概要

 

液晶パネルの製造過程では、ガラス貼り合わせやフィルムの貼り付け、露光によるパターン形成等の各工程で高精度な位置決めが必要となります。株式会社アイディール社製の高精度位置決めライブラリは独自アルゴリズムにより、パネル表面に付けられた2つ以上の位置決めマークをカメラで撮像して、XYθの位置補正を高精度に実現する位置決めライブラリです。グラフイン社製の画像処理ライブラリ『SIMPLE』と画像入力ボードIPMシリーズを使用する事により高精度な位置決めシステムの構築が可能です。

■システムの特徴
●高速・高精度の実現 
・ 自動キャリブレーションによる高精度な位置決め
・ 収束方式による高精度化  
・ 人工知能搭載による高精度化

 

手間がいらない柔軟な位置決めシステムの実現         
・ 2種類の位置決め方式   
・ 各種ステージ対応
・ 柔軟なカメラ位置構成   
・ 自動オフセット計算

2軸ステージでの自動キャリブレーションの実現        
2軸ステージの位置決めシステムにおいても、3軸ステージ同様の自動キャリブレーションを実現。

  ■用途例 【液晶ガラス張り合わせ】  
 


上下のガラス表面にある位置決めマークをカメラで捉えて、両者の位置、傾きを高精度に合わせ、ガラスの 貼り合わせを行います。

  ■システム構成例  
 

(1) 高精度位置決めライブラリ
  (アイディール社製)
(2) 画像入力ボードIPMシリーズ
  (グラフイン社製)
(3) 画像処理ライブラリ『SIMPLE』
  (グラフイン社製)
(4) カメラ(Camera Link対応)(各社)
(5) UVWテーブル(各社)
(6) テーブルドライバー装置(各社)
(7) テーブルドライバ制御ボード(各社)

■適用分野
●フラットパネル製造関連  ガラス張り合わせ/導電性テープ貼付/FPC貼付/露光ガラス切断/シール剤塗布/COGマウント/PI印刷保護シート貼り付け 等
●プリント基板関連  スクリーン印刷/基板穴あけ 等
●その他  セラミックシート関連/太陽電池関連/ウエハ関連 等

     
  ■高精度実現例  
 

【画像処理分解能】 : 512×480 視野5mm 10μm/画素
【カメラ/レンズ】 : 1/3CCD f=25mm 接写リング15mm
【ステージ】 : UVWテーブル 0.2μm/pulse 防振設備なし
【目標精度】 : 5μm

  ■評価結果  
 
     
     

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